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Cluster自動襯底傳樣機械臂
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產品概述 Product Overview
圓型傳樣互聯系統與直線互聯系統互為補充，均可實現樣品在超高真空的環境下在不同系統間的傳遞，但是側重點略有不同。圓形傳樣系統相對較為緊湊，既適合于小型實驗室級別（例如，1個或者2個RDC模塊）的互聯搭建，也可實現大型設備平臺的搭建（3個以上RDC模塊的互聯）。同時圓形傳樣互聯系統和直線互聯系統也能實現互相搭配，例如圓形搭配直線，圓形搭配圓形，或者直線再擴展。費勉儀器已經有豐富的設計和搭建經驗和案例供用戶參考。
費勉儀器的圓形傳樣互聯系統采用了自有知識產權（發明專利號：ZL 2015 1 0661875.0）的RDC模塊；同時機械臂末端帶有樣品抓取頭用于樣品抓取，其結構簡潔高效，使得成本降低、操作簡化，同時設計上注重不同超高真空實驗系統的兼容性，擴展了應用的范圍，已有豐富的對接案例，如MBE、ARPES、STM等。
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