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4inch襯底傳遞模組 您當前的位置: 首頁 > 產品中心 > 真空技術 > 系統產品 > 4inch襯底傳遞模組

產品概述 Product Overview

4inch襯底傳遞模組在升降式磁耦合傳樣桿基礎上增加了電動模組,可以滿足4寸襯底大范圍內的自動化傳輸需求,其線性行程最大可達1200mm,升降行程可達25mm。
該模組通過磁耦合驅動線性和升降運動,并在內部設計有防旋轉裝置,避免內桿旋轉傾覆襯底,外磁套旋轉運動則通過巧妙設計轉化為抓取頭的升降運動,實現停放和抓取樣品。
該款產品行程及真空側末端抓取裝置均可接受客戶定制。


規格說明 Specification

● 磁耦合驅動
● 極限真空:可達10-11 mbar
● 
材質:超高真空兼容材料 
● 不拆卸外部磁鐵可烘烤150℃
● 線性運動行程可達1200mm
● 升降行程:25mm


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標簽: 傳樣設備
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