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Cluster自動襯底傳樣機械臂
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產品概述 Product Overview
4inch襯底傳遞模組在升降式磁耦合傳樣桿基礎上增加了電動模組，可以滿足4寸襯底大范圍內的自動化傳輸需求，其線性行程最大可達1200mm，升降行程可達25mm。
該模組通過磁耦合驅動線性和升降運動，并在內部設計有防旋轉裝置，避免內桿旋轉傾覆襯底，外磁套旋轉運動則通過巧妙設計轉化為抓取頭的升降運動，實現停放和抓取樣品。
該款產品行程及真空側末端抓取裝置均可接受客戶定制。
規格說明 Specification
● 磁耦合驅動
● 極限真空：可達10-11 mbar
● 材質：超高真空兼容材料
● 不拆卸外部磁鐵可烘烤150℃
● 線性運動行程可達1200mm
● 升降行程：25mm
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