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4inch襯底傳遞模組
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產品概述 Product Overview
費勉儀器的cluster傳樣系統是安裝在UFO頂部/底部的機械臂組件，目的是在整個MBE系統中移動襯底。同時搭配線性驅動裝置，實現垂直方向0~25mm自由運動，目的是放置和抓取襯底。機械臂末端可搭配3inch/4inch襯底抓取頭，最大負載可達1kg。
機械臂通過高扭矩磁耦合驅動器驅動機械臂旋轉至所需真空腔體端口，定位基片安裝在機械臂前端上，以檢測機械臂在系統模塊內移動襯底的過程。
規格說明 Specification
● 距中心最大伸出長度1350mm
● 距中心最短折疊長度530mm
● 前端最大負載1kg
● 可360°連續旋轉
● 升降高度：0≤H≤25mm
視頻 Video
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