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Cluster自動襯底傳樣機械臂
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產品概述 Product Overview
直線互聯系統與圓型傳樣系統互為補充，均可實現樣品在超高真空的環境下在不同系統間的傳遞，但是側重點略有不同。圓形傳樣系統相對較為緊湊，適合于小型實驗室級別的互聯搭建；直線互聯系統單次傳遞的樣品尺寸和數量更多，適合于較大型的互聯搭建。同時圓形傳樣系統和直線傳樣系統也能實現互相搭配，例如圓形搭配直線，圓形搭配圓形，或者直線再擴展。費勉儀器已經有豐富的設計和搭建經驗和案例供用戶參考。
費勉儀器的直線互聯系統采用了自有知識產權（發明專利號：ZL201611011730.7）， 能夠實現傳輸小車自動穿越法蘭接口和閘板閥，方便樣品長距離的馬達化傳輸。同時與現有的很多互聯系統不同，我們將小車的耦合裝置置于系統的底部，這樣的結構更加方便樣品的觀察和操作同時節約了安裝空間，使系統也更加美觀。
規格說明 Specifications
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LDC1000 |
| 腔體內徑 | 150mm |
| 系統對接法蘭 |
NW63CF（可定制） |
| 觀察口法蘭 |
CF63 (可定制) |
| 最小單元長度 | 2米 |
| 最長長度 | 無限制 |
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泵組搭配 |
分子泵組，復合離子泵組（Ion+NEG） |
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樣品運動速度 |
3 米/分鐘 |
| 極限真空 |
＜3x 10-10 mbar |
| 線性重復精度 |
＜0.1mm |
| 最高烘烤溫度 |
150℃ |
視頻 Video
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