產品概述 Product Overview

費勉儀器為超高真空復雜系統的樣品傳遞專門設計研發了圓形傳樣系統，該腔體采用超高真空兼容材料SS316，形似UFO，側面連接口可以對接不同的子系統，使樣品可以在真空環境下來回自由切換并進行原位測量。

該傳樣系統機構末端可實現長距離伸縮運動，行程為同類產品中最長（發明專利號：ZL 2015 1 0661875.0），同時機械臂末端帶有樣品抓取頭用于樣品抓取。其結構簡潔高效，使得成本降低、操作簡化，同時設計上注重不同超高真空實驗系統的兼容性，擴展了應用的范圍，已有豐富的對接案例，如MBE、APRES、STM等。

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規格說明 Specification

	RDC820	RDC520
腔體內徑	700mm	550mm
機械臂安裝法蘭	CF200	CF200
觀察口法蘭	CF150	CF100
對接法蘭	CF100	CF100
機械臂旋轉	360°連續旋轉	360°連續旋轉
機械臂伸縮距離（伸出法蘭口）	820mm	520mm
拓展能力	最多可連8個子系統	最多可連6個子系統
旋轉重復精度	＜0.1°	＜0.1°
線性伸縮重復精度	＜1mm	＜1mm
最高烘烤溫度	120℃	120℃

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