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集成多濾波片快速切換裝置 您當前的位置: 首頁 > 產品中心 > 等離子技術 > 部件 > 集成多濾波片快速切換裝置

產品概述 Product Overview

費勉設計一款多濾片快速切換裝置,在腔體真空度不變的情況下能夠使多種工作氣體(He, Ne, Ar, Kr, Xe...)滿足多光子能量輸出的需求。


規格說明 Specification

● 匹配BL1010sBL1200s系列真空紫外光源

● 特殊設計的多濾波片快速切換結構,包含4個濾波片

● 在一個VUV光源中兼容He、Ne、Ar、KrXe

● 更換便捷,無需破壞主腔真空


氣體 能量 (ev) 波長(nm) 電流(nA) 光子數photons/s
He 21.2 58.5 33.8 1.56e12
Ne 16.85 73.59 11 4.43e11
Ar 11.83 104.82 7.5 4.96e11
Kr 10.03 123.58 2.4 7.5e11
Xe 8.43 146.96 1.5 9.3e13


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標簽: 紫外光源
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