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等離子技術

PLASMA TECHNOLOGY

公司研發的射頻聚焦等離子激勵技術,突破傳統等離子激勵所需的高壓電極放電、大功率微波源等限制,使低溫等離子技術在更多領域的應用變為現實?;诖思夹g開發的高亮度深紫外光源是組成高性能的光電子能譜儀、有機質譜儀、深紫外光刻等高端系統的關鍵核心部件。
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