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3英寸專用高溫樣品架 您當前的位置: 首頁 > 產品中心 > 薄膜制備 > 部件產品 > MBE樣品架 > 3英寸專用高溫樣品架

產品概述 Product Overview

● 安裝法蘭:DN 350CF
● 襯底尺寸:3英寸
● 加熱器:SiC加熱器
● K型熱偶測溫

● 旋轉速度:0~30 RMP
● 溫度范圍:RT-1000℃
● Z軸行程:50mm

● 定制長度

● 應用領域:薄膜制備、脈沖激光沉積、磁控濺射


相關配件 Options

● 手動(氣動)擋板
● 水冷套
● 溫度計:K型或C型熱偶
● Z軸行程:最大250mm,手動/馬達控制
● DPRF: ±180°,手動/馬達控制


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標簽: 低溫樣品架
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