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高亮度單色聚焦真空紫外光源(BL-1200S) 您當前的位置: 首頁 > 產品中心 > 等離子技術 > 紫外光源 > 高亮度單色聚焦真空紫外光源(BL-1200S)

產品概述 Product Overview

費勉BL1200S 是一款經過特殊設計的高亮度多氣體混合的真空紫外光源,包含差分腔體,一個單色腔體,一個多濾片變換裝置,一個將聚焦毛細管與差分腔體隔離的閘板閥,能夠使用多種工作氣體(He, Ne, Ar, Kr, Xe...),滿足小光斑,氣壓增量小的要求。


規格說明 Specification

● 可伸縮調節機制

● 75mm行程線性驅動

● 角度調節機制:傾角范圍:±3°

● 固態射頻電源,射頻線纜

● 強制風冷和水冷

● 兼容超高真空,全金屬密封


氣體 能量 (eV) 波長(nm)
電流 (nA)
光子數 Photons/s
He 21.2 58.5 33.8 1.56e12
Ne 16.85 73.59 11 4.43e11
Ar 11.83 104.82 7.5 4.96e11
Kr 10.03 123.58 2.4 7.5e11
Xe 8.43 146.96 1.5 9.3e13


測試報告 Test Report

產品尺寸 Dimension Drawing


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標簽: 紫外光源
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