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高亮度單色聚焦真空紫外光源(BL-1100S) 您當前的位置: 首頁 > 產品中心 > 等離子技術 > 紫外光源 > 高亮度單色聚焦真空紫外光源(BL-1100S)

產品概述 Product Overview

費勉BL-1100S 是一款經過特殊設計的高亮度多氣體混合的真空紫外光源,包含差分腔體,一個單色腔體,一個將聚焦毛細管與差分腔體隔離的閘板閥,能夠使用多種工作氣體(He, Xe),滿足小光斑,氣壓增量小的要求。


規格說明 Specification

● 可伸縮調節機制
● 75mm行程線性驅動
● 角度調節機制:傾角范圍:±3°
● 固態射頻電源,射頻線纜
● 強制風冷和水冷
● 兼容超高真空,全金屬密封


測試報告 Test Report


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標簽: 紫外光源
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