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中科院蘇州納米所超高真空PECVD系統交付使用

文章來源:費勉儀器

2020年5月,由費勉儀器設計并搭建完成的超高真空PECVD系統在蘇州納米所完成安裝,并移交用戶使用。


▲與超高真空系統互聯的PECVD系統


傳統的CVD系統在材料生長領域已取得了很好的成果,特別是石墨烯等二維材料的生長,CVD有著其他手段無法比擬的優勢。傳統CVD系統通?;诠苁綘t設計,充分利用了管式爐耐腐蝕、易清潔、恒溫區長和控溫簡便的優勢,但是常規CVD系統都屬于單體設備,生長完成的材料需要經過空氣傳遞才能實現進一步的材料改性或者表征,過程中會引入很多不確定因素,空氣中的氧化和污染直接對材料的本征性質造成了干擾。



▲正在加熱中的CVD裝置


這套由費勉儀器完成的超高真空系統,將CVD和超高真空系統無縫對接,既能在石英管式爐內完成CVD乃至PECVD生長,又能直接將產成的晶體樣品送入STM等分析裝置進行測量,大幅提升樣品品質,有效地提高了科研能力。



▲石英管樣品傳遞方式(實用新型專利號:ZL 2014 2 0374752.X)


標簽: 超高真空PECVD
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