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標準蒸發源 您當前的位置: 首頁 > 產品中心 > 薄膜制備 > 部件產品 > 蒸發源 > 標準蒸發源

產品概述 Product Overview

標準低溫(LT)和中溫(MT)蒸發源的最大工作溫可達1100℃ 和1500℃。蒸發源內部采用獨特的加熱絲設計,可確保坩堝受熱均勻,同時有更好的使用穩定性,和更長的使用壽命。中間采用多層線接觸式鉭筒隔熱,大大降低了熱輻射損失,提高了熱量利用率,使其在較低的功率下即可達到較高的工作溫度。蒸發源水冷系統采用內置水冷套設計,屏蔽了高溫加熱區域對腔體內壁的輻射,可有效減少腔壁放氣,為樣品生長提供了更好的真空條件,同時提高了溫度測量精度。
除了標準加熱絲外,熱口和冷口型的加熱絲設計可以滿足特殊要求的蒸發材料。


規格說明 Specification

● 加熱系統: 輻射加熱,帶有PBN支撐片的Ta加熱絲
● 兼容Oxide MBE
● 溫度穩定性:≤0.1%,取決于PID溫控器
● 超高真空兼容,極限真空10-11mbar
● 內置水冷模塊
● 擋板:可選Ta擋片(手動/氣動)

法蘭尺寸 坩堝尺寸 工作溫度 最高除氣溫度 熱偶類型 溫度穩定性 型號
NW38CF(O.D. 2.75”)
10 cc
100~1100℃ 1200℃ K ±0.1%
E38LT
300~1500℃ 1600℃ C E38MT
NW63CF(O.D. 4.50”)
25/50 cc
300~1100℃
1200℃
K ±0.1%
E63LT
300~1500℃
1600℃
C E63MT


測試曲線圖 Test Curve

——————    功率測試    —————— ——————     銅束流溫度曲線    ——————


——————     銅薄膜沉積曲線    ——————— ——————     溫度穩定性測試    ——————



產品尺寸 Dimension Drawing


NW38CF NW63CF






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