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產品概述 Product Overview

堿金屬廣泛應用于電子摻雜和陰極薄膜制備。但是由于堿金屬的化學性能十分活潑,以至于不使用手套箱或者真空傳輸器,無法將純的堿金屬材料放入到蒸發源中。
一種使用堿金屬釋放劑(AMD)的方法,可以安全高效的沉積諸如銫、鉀、鈉、銣、鋰等超純堿金屬。堿金屬釋放劑保持純的堿金屬以穩定的鹽與吸氣材料相結合的形式存在。吸氣劑的存在確保堿金屬蒸發期間的超純環境。
堿金屬蒸發源兼容SAES AMD 型號X/NF/xx-/12/FT10+10,并最多可同時安裝3條堿金屬釋放劑。獨立通道沉積,或通過選擇電源實現共沉積。所有堿金屬釋放劑使用簡單、替換容易,并且沒有其他額外的消耗品。


規格說明 Specification


● 型號:E38AM 

● 法蘭尺寸:NW38CF(O.D. 2.75”)    

● 加熱系統:電阻加熱    
● 靶材(選件):SAES 堿金屬釋放劑 (X/NF/xx/12/FT10+10)    
● 最大工作電流:默認7.5A, 取決于所選釋放劑    
● 真空度:<10-6 mbar
● 最大烘烤溫度:250 ℃   



配套產品 Package product

堿金屬條

FT=引腳長度

A=有效長度12mm 

以上所有尺寸單位:mm


堿金屬材質

質量(mg)

起始蒸發電流(A)
平均值 標準偏差
5.2 4.7 0.2
2.9 5.3 0.2
1.7 6.0 0.2
4.5 5.3 0.2
0.8 7.3 0.2











產品尺寸 Dimension Drawing





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標簽: evaporators
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