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元 素 周 期 表






















低溫蒸發源



近常溫源

堿金屬源











中溫蒸發源



電子束源

氣體裂解源







IA



冷口或熱口



射頻等離子源

磷裂解源






VIIIA

(H)

IIA


高溫蒸發源



碳源

雙溫裂解源

IIIA
IVA
VA
VIA
VIIA
(He)


(Li)


(Be)










(B)
(C)
(N)
(O)
(F)
(Ne)


(Na)


(Mg)
IIIB
IVB
VB
VIB
VIIB
VIIIB
IB
IIB
(Al)
(Si)
(P)
(S)
(Cl)
(Ar)


(K)


(Ca)
(Sc)
(Ti)
(V)
(Cr)
(Mn)
(Fe)
(Co)
(Ni)
(Cu)
(Zn)
(Ga)
(Ge)
(As)
(Se)
(Br)
(Kr)


(Rb)


(Sr)
(Y)
(Zr)
(Nb)
(Mo)
(Tc)
(Ru)
(Rh)
(Pd)
(Ag)
(Cd)
(In)
(Sn)
(Sb)
(Te)
(I)
(Xe)


(Cs)


(Ba)
鑭系
(Hf)
(Ta)
(W)
(Re)
(Os)
(Ir)
(Pt)
(Au)
(Hg)
(Tl)
(Pb)
(Bi)
(Po)
(At)
(Rn)





鑭系
(La)
(Ce)
(Pr)
(Nd)
(Pm)
(Sm)
(Eu)
(Gd)
(Tb)
(Dy)
(Ho)
(Er)
(Tm)
(Yb)
(Lu)






















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