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標準蒸發源拆裝操作

文章來源:

蒸發源的安裝環境分為兩種情況,一種是蒸發源裝在腔體內,另一種是蒸發源裝在外置水冷套內。在自帶擋板的腔體內與外置水冷套內安裝需要把蒸發源擋板拆除,如果腔體內不帶擋板則操作步驟如下(以費勉儀器標準中溫蒸發源安裝操作為例):


1
蒸發源裝腔操作

第一步:準備以下材料以及工具



CF35銅墊圈,1個

不銹鋼內六角螺絲(螺絲長度視安裝法蘭而定),6個

?6mm平墊,6個

CF35板狀螺帽,2個(視安裝法蘭而定)

蒸發源,1個

蒸發源支架,1個

工具:

無塵手套

無水酒精

超凈布

5mm內六角扳手

無塵服

第二步:安全檢查,確保腔體已經停止抽真空,并采用高純氮恢復到大氣壓,確認腔體內的材料無毒無害;

第三步:穿戴無塵服、無塵手套,先把磁耦合旋轉驅動上的鎖緊螺絲擰松,再將磁耦合旋轉驅動旋轉至0度并把鎖緊螺絲鎖緊(即擋板處于關閉位置),確保不會與腔體內壁發生干涉;



第四步:使用超凈布蘸取酒精擦拭蒸發源刀口和銅墊圈并目視檢查無瑕疵,將銅墊圈放在蒸發源法蘭刀口或者安裝法蘭刀口上(面向上者);



第五步:使用超凈布蘸取酒精擦拭法蘭刀口,并小心地將蒸發源插入腔體,確保蒸發源真空外部件不與其他物體干涉;



*在第四步和第五步中,必須檢查密封刀口及銅墊圈是否完好無劃傷,如果有異常則必須停止安裝。

第六步:檢查水冷的方向。必要時,旋轉蒸發源以確保出水口處于較高位置。(即正立安裝,低進高出;倒立安裝,高進低出);



第七步:輕微的來回轉動蒸發源法蘭,確保銅墊圈與法蘭吻合,并使上下兩個法蘭通孔對位;



第八步:將帶有墊片的不銹鋼內六角螺絲插入通孔內,同時另外一側用板狀螺帽(或者M6螺母)固定,螺絲擰入板狀螺帽中(或者M6螺母),交叉擰緊螺絲;用合適的松緊程度將每個螺絲順時針每次擰1/4或者1/2圈;



第九步:用萬用表測量加熱絲電阻值和熱電偶是否正常,可對比原廠的出廠報告;



第十步:用5mm內六角扳手順時針均勻擰緊所有螺絲;



第十一步:接水路并加壓確保無泄漏;



第十二步:接電源線和熱偶線。




2

腔體上拆蒸發源步驟



第一步:準備以下材料和工具





CF35盲板,1個

銅墊圈,1個

蒸發源支架,1個

工具:

無塵手套

無水酒精

超凈布

無塵服

5mm內六角扳手

第二步:安全檢查,確保腔體已經停止抽真空,并采用高純氮恢復到大氣壓,確認腔體內的材料無毒無害;

第三步:穿戴無塵服、無塵手套,腔體破真空后,移除電饋通電纜(電源線和熱偶線),關閉水冷,移除水冷管,用壓縮空氣吹干凈殘余冷卻水避免污染工作場地;



第四步:檢查磁耦合旋轉驅動刻度,確認在0度并把鎖緊螺絲鎖緊(即擋板處于關閉位置),確保不會與腔體內壁發生干涉;

第五步:用內六角扳手均勻的預松開法蘭通孔內螺絲;



第六步:一只手托住蒸發源,另外一只手拆卸螺絲,直至螺絲全部拆卸完畢;



第七步:小心取出蒸發源,避免與腔體的內壁及法蘭刀口碰撞,將蒸發源正立于架子上;



第八步:使用CF35盲板封堵安裝法蘭。(如果短時間內將蒸發源裝完料后裝回腔體,那么只需用潔凈的鋁箔紙封堵安裝法蘭刀口)



*如果蒸發源和擋板是分離安裝的,建議檢查擋板。隨著系統使用擋板上會積累原材料,建議定期清理污染系統或者蒸發源。



標簽: 蒸發源
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